›
›

Bài giảng Dụng cụ bán dẫn - Chương 1: Giới thiệu

Download
Chương 1  
GIỚI THIỆU  
DỤNG CỤ BÁN DẪN  
Dụng cụ bán dẫn: nền tảng của ngành  
công nghiệp điện tử - một trong các ngành  
công nghiệp lớn nhất thế giới với doanh  
số toàn cầu hơn một ngàn tỉ đô la từ năm  
1998.  
kiến thức cơ bản về các dụng cụ bán dẫn  
hiểu về các môn học khác trong kỹ  
thuật điện-điện tử.  
2
NỘI DUNG  
Bốn khối xây dựng của các dụng cụ bán dẫn.  
Mười tám dụng cụ bán dẫn quan trọng và vai trò  
của chúng trong các ứng dụng điện tử.  
Hai mươi công nghệ bán dẫn quan trọng và vai  
trò của chúng trong chế tạo dụng cụ.  
Xu hướng công nghệ tiến tới mật độ cao, tốc độ  
cao, tiêu thụ năng lượng thấp, và không bốc hơi  
(nonvolatility).  
3
1.1 Dụng cụ bán dẫn  
4
Fig. 1 Gross world product (GWP) and sales volumes of the  
electronics, automobile, semiconductor, and steel industries  
from 1980 to 2000 and projected to 2010  
5
1.1.1 Các khối xây dựng của dụng cụ bán dẫn  
Hình 2. Các khối xây dựng cơ bản.  
(a) Giao tiếp kim loại-bán dẫn; (b) chuyển tiếp P-N;  
(c) giao tiếp dị thể (Heterojunction);  
và (d) cấu trúc MOS (metal-oxide-semiconductor)  
6
1.1.2 Các dụng cụ bán dẫn chính  
7
Các dụng cụ bán dẫn chính (tt)  
8
Lịch sử các dụng cụ điện tử  
9
Diode  
10  
The bipolar transistor  
11  
The metal oxide field effect transistor  
(MOSFET)  
12  
Integrated Circuits (1/3)  
13  
Integrated Circuits (2/3)  
14  
Integrated Circuits (3/3)  
15  
1.2 Công nghệ bán dẫn  
16  
1.2.1 Các công nghệ bán dẫn chính  
17  
Các công nghệ bán dẫn chính (..)  
Theo thứ tự thời gian:  
1. Czochralski crystal growth (tăng trưởng tinh thể)  
2. Bridgman crystal growth (tăng trưởng tinh thể)  
3. III-V compounds (hợp chất III-V)  
4. Diffusion (Khuếch tán)  
5. Lithographic photoresist (kỹ thuật quang khắc)  
6. Oxide masking (tạo mặt nạ oxide)  
7. Epitaxial CVD growth (tăng trưởng bằng lắng đọng hơi hóa  
học với epitaxy)  
8. Ion implantation (cấy ion)  
9. Hybrid integrated circuit (vi mạch lai/hỗn hợp)  
10. Monolithic integrated circuit (vi mạch đơn khối)  
11. Planar process (xử lý plana)  
18  
Các công nghệ bán dẫn chính (..)  
12. CMOS  
13. DRAM  
14. Polysilicon self-aligned gate  
15. MOCVD (lắng đọng hơi hóa học với hợp chất hữu cơ-kim  
loại)  
16. Dry etching (dán khô)  
17. Molecular beam epitaxy  
18. Microprocessor (4004)  
19. Trench isolation  
20. Chemical mechanical polishing  
21. Copper interconnect (kết nối bằng đồng)  
CVD, chemical vapor deposition; CMOS, complementary metal-oxide-semiconductor  
field-effect transistor; DRAM, dynamic random access memory; MOCVD, metalorganic  
CVD.  
19  
Photolithography (kỹ thuật quang khắc)  
Vẽ lên wafer rồi tẩy đi phần mình muốn tẩy và giữ lại những  
phần mình cần.  
Mực vẽ này kêu là chất cản quang (photoresist). Có 2 loại: chất  
cản quang dương và âm.  
Loại dương thì phần bị che khuất sẽ còn lại.  
Loại âm thì phần che đi sẽ bị tẩy mất.  
Mask (mặt nạ): phần này là do một hãng chuyên làm, nó chỉ là  
một miếng kiếng có hình muốn vẽ lên wafer. Một wafer có rất  
nhiều mask, từ hàng trăm mask trở lên. Mỗi một mask thì  
thường là gồm có vài chục đến vài trăm hình của một die (1 die  
sẽ là một IC).  
Ngày xưa lúc wafer còn nhỏ, kỹ nghệ còn thô sơ thì thường họ làm 1  
mask cho 1 die. Một bộ mask cho vi xử lý giá khoảng 250,000USD (giá  
năm 1990s)  
20  
Tải về để xem bản đầy đủ
pdf 27 trang myanh 17560 Free
Download
Bạn đang xem 20 trang mẫu của tài liệu "Bài giảng Dụng cụ bán dẫn - Chương 1: Giới thiệu", để tải tài liệu gốc về máy hãy click vào nút Download ở trên

File đính kèm:

  • pdfbai_giang_dung_cu_ban_dan_chuong_1_gioi_thieu.pdf