Tài liệu Chuẩn bị mẫu thử cho kính hiễn vi điện tử xuyên tem chế tạo màng in
CHUAÅN BÒ MAÃU THÖÛ CHO KÍNH HIEÃN VI ÑIEÄN TÖÛ XUYEÂN TEM
CHEÁ TAÏO MAØNG IN
• Muïc ñích laø cheá taïo moät aâm baûn hoaëc nguyeân baûn cuûa beà maët maãu
nghieân cöùu baèng cô hoïc, hoaù hoïc, ñieän hoaù…
• Sau khi ñöôïc taùch khoûi beà maët maãu maøng ñöôïc ñaët vaøo moät löôùi ñoàng
ñöa vaøo TEM ñeå quan saùt. Hieäu öùng töông phaûn treân TEM laø do söï haáp
thuï chuøm ñieän töû khaùc nhau cuûa caùc vuøng treân maøng (hieäu öùng beà daøy
do heä soá haáp thuï khaùc nhau)
Id I0.ed
Maãu tröôùc khi taïo maøng ñöôïc laøm saïch beà maët, ñaùnh boùng vaø taåm thöïc
ñoái vôùi kim loaïi
Maøng in höõu cô:
• deã taïo, reû, vaät lieäu maøng laø caùc chaát höõu cô.
0
• Khaû naêng phaân giaûi khoâng vöôït quaù 200
A
• Khuyeát ñieåm: maøng deã bò phaân huyû döôùi taùc duïng cuûa chuøm electron
vaø deã bò tích ñieän aûnh höôûng ñeán khaû naêng phaân giaûi. Ñeå khaéc phuïc
maøng sau khi taïo thaønh ñöôïc phun phuû theâm moät lôùp kim loaïi hoaëc
cacbon trong chaân khoâng
Maøng in cacbon:
• So vôùi maøng höõu cô maøng cacbon coù ñoä beàn cao hôn, ñoä töông phaûn cao
hôn
0
• Khaû naêng phaân giaûi leân ñeán 20
A
• Ñöôïc tieán haønh trong chaân khoâng baèng caùch laøm bay hoi cacbon vaø
ngöng tuï treân beà maët maãu
• Vieäc taùch maãu deã daøng baèng caùch nhuùng vaøo nöôùc maøng seõ töï taùch ra
Maøng in oxide:
• Raát deã cheá taïo baèng caùch oxy hoaù beà maët maãu baèng phöông phaùp hoaù
hoïc hay ñieän hoaù
• Sau ñoù cho aên moøn phaàn maãu coøn laïi ñeå laáy lôùp maøng in oxy hoaù
• Khaû naêng phaân giaûi töông ñöông vôùi maøng cacbon
• Trong moät soá tröôøng hôïp ngoaøi vaán ñeà hình thaùi toå chöùc thaønh phaàn
maãu coøn phaûi tìm hieåu veà caáu truùc cuûa noù. Trong tröôøng hôïp naøy cho
aên moøn phaàn maãu nhöng caàn giöõ laïi moät ít toå chöùc treân maøng. Keát hôïp
vôùi aûnh nhieãu xaï teá vi seõ cho ñaày ñuû thoâng tin quan taâm
CHEÁ TAÏO MAØNG MOÛNG CHO TEM
Ñeå nghieân cöùu tröïc tieáp treân TEM maãu phaûi trong suoát vôùi chuøm
0
electron vì theá beà daøy cuûa maøng dao ñoäng töø vaøi traêm ñeán vaøi ngaøn
hôn 1 micromet)
A
(nhoû
• Ngöng ñoïng trong chaân khoâng: hôi kim loaïi ñöôïc ngöng tuï treân moät ñeá
vaø taïo thaønh maøng moûng khi ñaït chieàu daøy mong muoán noù ñöôïc taùch
baèng cô hoïc hoaëc hoaù hoïc (aên moøn ñeá). Neáu ñeá laø ñôn tinh theå vaø ñöôïc
nung noùng trong quaù trình ngöng ñoïng thì maøng seû coù ñònh höôùng cuûa
ñeá goïi laø quaù trình epitaxi. Tröôøng hôïp ñeá laø voâ ñònh hình, ña tinh theå
hoaëc khoâng ñöôïc nung ta seõ coù maøng ña tinh theå
• Cheá taïo maøng moûng töø maãu nguyeân khai: maøng ñöôïc taïo ra töø chính
maãu caàn nghieân cöùu. Maãu ñöôïc laøm moûng baèng cô hoïc ñeán ñoä daøy caàn
thieát sau ñoù ñöôïc baén phaù ioân, aên moøn hoaù hoïc (nhuùng vaøo dung dòch
thích hôïp) hoaëc aên moøn ñieän hoaù (ñieän phaân- maãu ñoùng vai troø anode
coøn catode laøm baèng theùp khoâng gæ, maãu bò aên moøn daàn ñeán ñoä daøy caàn
thieát) ñeán kích thöôùc nhoû hôn 1 micromet ñeå chuøm ñieän töû coù theå
xuyeân qua ñöôïc.
cheá taïo maøng moûng baèng phöông phaùp ñieän phaân
3 trang
21120
Free
Bạn đang xem tài liệu "Tài liệu Chuẩn bị mẫu thử cho kính hiễn vi điện tử xuyên tem chế tạo màng in", để tải tài liệu gốc về máy hãy click vào nút Download ở trên
File đính kèm:
- tai_lieu_chuan_bi_mau_thu_cho_kinh_hien_vi_dien_tu_xuyen_tem.doc
